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當(dāng)前位置:首頁  /  產(chǎn)品中心  /  環(huán)境測(cè)試儀器  /  露點(diǎn)儀  /  michell密析爾 Pura 高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀

密析爾 Pura 高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀
產(chǎn)品簡介

密析爾 Pura 高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn),結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程,打造出適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。Pura高純氣體露點(diǎn)變送器擁有堅(jiān)固而獨(dú)立的傳感器,專門用來測(cè)量超高純氣體中的微量水分含量。

產(chǎn)品型號(hào):michell
更新時(shí)間:2024-11-06
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:2896
詳細(xì)介紹
品牌michell/英國

密析爾 Pura 高純氣露點(diǎn)變送器/在線露點(diǎn)儀

在很多超純氣應(yīng)用,諸如半導(dǎo)體工業(yè)中,氣體中殘余的濕氣對(duì)于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來,對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn),需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案,用來在線測(cè)量露點(diǎn)值,下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn),結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程,打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。

Pura高純氣體露點(diǎn)變送器
這款小巧的變送器擁有堅(jiān)固而獨(dú)立的傳感器,專門用來測(cè)量超高純氣體中的微量水分含量。
Pura使用和安裝簡單,可選兩線制、三線制和危險(xiǎn)區(qū)域的型號(hào),是一款*可自定義的產(chǎn)品,可以滿足各種特殊需求。

亮點(diǎn)

  • 測(cè)量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV)
  • 測(cè)量穩(wěn)定,重復(fù)性好
  • 高度集成的采樣裝置
  • 模擬和數(shù)字輸出
  • 安裝簡便
  • VCR 過程接口
  • 設(shè)計(jì)緊湊小巧
  • 顯示/報(bào)警單元可選

高純氣體微量露點(diǎn)變送器
在許多高純氣體的應(yīng)用中,如半導(dǎo)體行業(yè),氣體的殘留水分對(duì)于工藝操作的影響是至關(guān)重要。
根據(jù)以往的經(jīng)驗(yàn),微量水分測(cè)量一直是一個(gè)難題,這需要使用復(fù)雜或昂貴的分析儀測(cè)量?,F(xiàn)在,密析爾推出了一款簡單、經(jīng)濟(jì)的產(chǎn)品,可以在線測(cè)量露點(diǎn)達(dá)-120°C (小于1ppb)。
Pura露點(diǎn)變送器的優(yōu)勢(shì)在于密析爾阻抗傳感器生產(chǎn)和校準(zhǔn)的經(jīng)驗(yàn)和專長。工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)材料和制造工藝結(jié)合的低成本變送器,適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造廠或高純氣體管線中。

使用簡單
這種獨(dú)立的變送器設(shè)計(jì)成可無縫接入純氣的過程應(yīng)用中,并可提供可靠的測(cè)量結(jié)果。
Pura的傳感器外殼是由冷拉不銹鋼制成,內(nèi)部采用0.25Ra μm,以達(dá)到小的吸濕性,潔凈度達(dá)到清潔室標(biāo)準(zhǔn)。
該變送器交付完整的校準(zhǔn)和操作,并提供4-20mA的校準(zhǔn)輸出,能夠連接到密析爾的顯示模塊或中央控制系統(tǒng)。
該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)具有小的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。這確保了過程應(yīng)用中
kuai的響應(yīng)速度,也保證了濕度測(cè)量時(shí)的kuai響應(yīng)速度。傳感器密封墊圈可以在小壓力10-9torr內(nèi)工作,同時(shí)整個(gè)系統(tǒng)可承受的da壓力為240 Barg (3480 psi)。

安裝和操作簡便
Pura安裝簡單。¼”外螺紋VCR氣體接口的間距為 120mm,符合標(biāo)準(zhǔn)。整個(gè)產(chǎn)品的高度僅為150mm,重量小于500g。Pura是一個(gè)兩線或三線制的變送器,提供da
的操作靈活性和12-28V直流電源的供電。

可選的顯示
假如應(yīng)用中需要顯示露點(diǎn)值或濕度值,Pura可以提供兩種顯示。顯示器可以很容易連接,也可以作為Pura的電源。

服務(wù)與校準(zhǔn)
密析爾為想要少停機(jī)時(shí)間和設(shè)備可追溯性的用戶提供以下兩種服務(wù):
傳感器替換 –用戶可以簽訂一個(gè)有保障的合同,可以更換傳感器。當(dāng)傳感器出現(xiàn)問題時(shí),可以把更換下來的傳感器返回密析爾檢測(cè),從而實(shí)現(xiàn)零停機(jī)時(shí)間。

校準(zhǔn) – 用戶將傳感器返回密析爾,密析爾會(huì)對(duì)返回的傳感器進(jìn)行檢查和校準(zhǔn)。這樣為過程中的傳感器就可以實(shí)現(xiàn)可追溯性。

陶瓷阻抗傳感器
Pura采用阻抗技術(shù),是基于水分子的導(dǎo)電性。密析爾的陶瓷濕度傳感器采用具有的厚薄膜技術(shù)。
在半導(dǎo)體化的陶瓷基底上,均勻的敷涂了金屬導(dǎo)電層。導(dǎo)電層之間的感濕層能感受到氣體樣品中的水蒸氣分壓。水氣分壓決定了水分子進(jìn)入感濕層的水分子的數(shù)量,即對(duì)應(yīng)于導(dǎo)電層之間的阻抗值。露點(diǎn)值和水氣分壓有一一對(duì)應(yīng)關(guān)系。經(jīng)過校驗(yàn),阻抗值和露點(diǎn)值的對(duì)應(yīng)關(guān)系建立起來,被儲(chǔ)存在變送器的芯片中。
傳感器采用半導(dǎo)體極的陶瓷材料作為基底,給予傳感器*的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度和均勻特性。使密析爾濕度傳感器具備其他氧化鋁傳感器所*的穩(wěn)定性。 

技術(shù)指標(biāo)

傳感器
傳感器類型密析爾陶瓷濕度傳感器
量程-120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)
精度±1°C   -40 ~ -60°C;
±2°C   -61 ~ -100°C;
±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率0.1°C        -40 ~ -79.9°C;
1°C           -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C
壓力低 10-9 torr; 大 24 MPa
氣體流量1 ~ 5 Nl/min
電氣
電源通常 24 V DC, 10 V ~ 28 V , 電流 25 mA
輸出4-20 mA 輸出, 對(duì)應(yīng)范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯(cuò)狀態(tài)標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機(jī)械性能
傳感器套筒不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 
氣路連接端口Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
安裝配置Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對(duì)面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中
尺寸Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包裝Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作
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